Introduction Le principe de la pulvérisation cathodique. L'appareillage. La pulvérisation diode. La pulvérisation triode. La pulvérisation magnétronpulvérisation cathodique magnétron réactive, en vue d'établir un (des) moyen(s) de contrôle en temps réel du procédé. 1. La pulvérisation cathodique est la expression du rendement de pulvérisation :. le taux de pulvérisation cathodique dépend de la masse des ions autant que de leur énergie, il est.